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聚变新能等申请真空抽气系统及其控制方法相关专利, 实现真空腔室的全自动抽真空

时间:2025-07-19 07:32 来源:未知 字体大小:【

金融界2025年7月8日消息,国家知识产权局信息显示,聚变新能(安徽)有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院申请一项名为“真空抽气系统及其控制方法、装置和存储介质”的专利,公开号CN120280188A,申请日期为2025年06月。

专利摘要显示,本发明公开了一种真空抽气系统及其控制方法、装置和存储介质,其中,真空抽气系统包括机械泵、罗茨泵、第一分子泵、第二分子泵、对应第一分子泵设置的第一真空规和第一插板阀、对应第二分子泵设置的第二真空规和第二插板阀、对应真空腔室设置的第三真空规和第三插板阀,方法包括:获取第一真空规、第二真空规和第三真空规的真空度检测值;根据第一真空规、第二真空规和第三真空规的真空度检测值,获取机械泵、罗茨泵、第一分子泵、第二分子泵、第一插板阀、第二插板阀和第三插板阀的控制参数;根据控制参数,驱动真空抽气系统对真空腔室进行抽真空。由此,通过真空抽气系统基于真空度检测值实现真空腔室的全自动抽真空,简化流程并降低人工干预。

本文源自:金融界

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